ホモエピタキシャル成長用ダイヤモンド基板の研削加工とダメージ評価
ホモエピタキシャル成長用ダイヤモンド基板の研削加工とダメージ評価
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同质外延生长金刚石基板的研磨和损伤评估
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大宮裕之，南方啓貴，川口正悟，會田英雄，大島龍司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山井大誠;伊藤暁彦;大宮裕之，南方啓貴，川口正悟，會田英雄，大島龍司
