葉山 清輝: "Al2O3/Siエピタキシャル成長における活性酸素の炭素汚染除去効果" 第40回応用物理学関係連合講演会講演予稿集、NO.1. (1993)
葉山 清輝: "Al2O3/Siエピタキシャル成長における活性酸素の炭素汚染除去効果" 第40回応用物理学関係連合講演会講演予稿集、NO.1. (1993)
复制标题
Kiyoteru Hayama:“活性氧对去除 Al2O3/Si 外延生长中碳污染的影响”第 40 届应用物理学会会议记录,第 1 期(1993 年)
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: