棒形状基材包囲型の同軸型マグネトロンスパッタリング装置における実験的検討
棒形状基材包囲型の同軸型マグネトロンスパッタリング装置における実験的検討
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绕棒状基体同轴磁控溅射装置的实验研究
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
古木辰也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
末松孝太;上坂裕之;古木辰也
