T.Abe and M.Esashi: "One-Chip Multi-Channel Quartz Crystal Microbalance (QCM) Fabricated by Deep RIE"Technical Digest of the Transducers'99. 10. 1246-1249 (1999)
T.Abe and M.Esashi: "One-Chip Multi-Channel Quartz Crystal Microbalance (QCM) Fabricated by Deep RIE"Technical Digest of the Transducers'99. 10. 1246-1249 (1999)
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T.Abe 和 M.Esashi：“Deep RIE 制造的单芯片多通道石英晶体微天平 (QCM)”传感器技术文摘99。
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