シリコン基板上に成膜されたナノダイヤモンド混相膜の機械的・構造的特性に基板温度及び中間層がもたらす影響
シリコン基板上に成膜されたナノダイヤモンド混相膜の機械的・構造的特性に基板温度及び中間層がもたらす影響
复制标题
基底温度和中间层对硅基底上沉积的纳米金刚石多相薄膜机械和结构性能的影响
DOI：
--
复制
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
S. Saito，A. M. Ali1，M. Egiza，K. Murasawa，H. Sugita，T. Deckert-Gaudig，Volker Deckrt， and T. Yoshitake
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
布谷直義;Yeon-Bin Choi;今中信人;S. Saito，A. M. Ali1，M. Egiza，K. Murasawa，H. Sugita，T. Deckert-Gaudig，Volker Deckrt， and T. Yoshitake
