K.Sasaki et al.: "Origin of oxygen in PZT Films Prepared by Metal-Oxide Combined Target" Proc.of 4th International Symposium on Spattering and plasma process. 607-612 (1997)

K.Sasaki et al.: "Origin of oxygen in PZT Films Prepared by Metal-Oxide Combined Target" Proc.of 4th International Symposium on Spattering and plasma process. 607-612 (1997)
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K.Sasaki 等人:“金属氧化物组合靶材制备的 PZT 薄膜中氧的起源”第四届国际溅射和等离子体工艺研讨会论文集。

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