Yoshihiro Okuno,Shinya Yagura Hiroharu Fujita: "Observation of a magnetized lowーpressure rf plasma for thinーfilm preparation" Journal of Applied Physics. 69. 146-150 (1991)

Yoshihiro Okuno,Shinya Yagura Hiroharu Fujita: "Observation of a magnetized lowーpressure rf plasma for thinーfilm preparation" Journal of Applied Physics. 69. 146-150 (1991)
复制标题

Yoshihiro Okuno、Shinya Yagura Hiroharu Fujita:“用于薄膜制备的磁化低压射频等离子体的观察”应用物理学杂志 69. 146-150 (1991)。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献