分子動力学法によるSiO_2/Si界面近傍のボイド分布の解析

分子動力学法によるSiO_2/Si界面近傍のボイド分布の解析
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分子动力学方法分析SiO_2/Si界面附近的孔隙分布

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
大泊 巌
大泊 巌
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
太田 洋道;大泊 巌

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