GaNおよびAlGaN/GaN上に形成した絶縁ゲート構造への表面処理の影響

GaNおよびAlGaN/GaN上に形成した絶縁ゲート構造への表面処理の影響
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表面处理对 GaN 和 AlGaN/GaN 上形成的绝缘栅结构的影响

DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
橋詰保
橋詰保
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
堀祐臣;金聖植;橋詰保

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