レーザープラズマ軟x線によるsio2, PMMA, PDMsのマイクロ・ナノ加工

レーザープラズマ軟x線によるsio2, PMMA, PDMsのマイクロ・ナノ加工
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使用激光等离子体软 X 射线对 SiO2、PMMA、PDM 进行微/纳米加工

DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
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通讯作者:
他10名
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中科院分区:
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文献类型:
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作者:
牧村哲也;他10名

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