Shunri Oda: "Diagnostic Study of VHF Plasma and Deposition of Hydrogenated Amorphous Silicon Films" Jpn.J.Appl.Phys.29. 1889---1895 (1990)
Shunri Oda: "Diagnostic Study of VHF Plasma and Deposition of Hydrogenated Amorphous Silicon Films" Jpn.J.Appl.Phys.29. 1889---1895 (1990)
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Shunri Oda：“VHF 等离子体的诊断研究和氢化非晶硅薄膜的沉积”Jpn.J.Appl.Phys.29。
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