Masahiro OTA: "Challenges on ITRS Red Brick by Thermal and Fluid Mechanics"Proceedings of 7 th International Symposium on Chemical Mechanical Polishing. 1-14 (2002)
Masahiro OTA: "Challenges on ITRS Red Brick by Thermal and Fluid Mechanics"Proceedings of 7 th International Symposium on Chemical Mechanical Polishing. 1-14 (2002)
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Masahiro OTA：“热力学和流体力学对ITRS红砖的挑战”第七届国际化学机械抛光研讨会论文集。
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