フローチャネル型製膜装置によるSiO2-SCFD
フローチャネル型製膜装置によるSiO2-SCFD
复制标题
SiO2-SCFD采用流道式成膜设备
DOI：
--
复制
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
百瀬健
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
大伴真名歩;他(筆頭著者・発表者);百瀬健;小川幸子;神野直哉;百瀬健
