大津康徳: "He-SF_6パルス変調高周波プラズマ中の負電荷の挙動" 第12回プラズマプロセシング研究会プロシ-ディングス. 12. 87-90 (1995)
大津康徳: "He-SF_6パルス変調高周波プラズマ中の負電荷の挙動" 第12回プラズマプロセシング研究会プロシ-ディングス. 12. 87-90 (1995)
复制标题
Yasunori Otsu：“He-SF_6 脉冲调制高频等离子体中负电荷的行为”第 12 届等离子体处理研究组论文集。12. 87-90 (1995)。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
