Pattern etching of silicon assisted by graphene oxide in a vapor phase combined with micro-contact printing
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氧化石墨烯气相辅助硅图案蚀刻结合微接触印刷
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Wataru Kubota; Ryoya Yamaoka; Toru Utsunomiya; Takashi Ichii; Hiroyuki Sugimura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J. Ueda;A. Hashimoto;Y. Aoki;P. Dorenbos;S. Tanabe;Wataru Kubota; Ryoya Yamaoka; Toru Utsunomiya; Takashi Ichii; Hiroyuki Sugimura
