Development of EUV light source by CO_2-laser-produced Xe plasma
Development of EUV light source by CO_2-laser-produced Xe plasma
复制标题
CO_2激光产生Xe等离子体EUV光源的开发
DOI：
--
复制
发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Hiroki Tanaka et al.
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Nonami A;Taketomi T;Kimura A;Saeki K;Takaki H;et al.;Hiroki Tanaka;Hiroki Tanaka et al.
