White Light Spetral Interferometry for Real Time Surface Profile Measurement
White Light Spetral Interferometry for Real Time Surface Profile Measurement
复制标题
用于实时表面轮廓测量的白光光谱干涉仪
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Gao, F.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Gao, F.
