青柳誠司(三好弘己): "多層成膜による高配向性PZT薄膜の厚膜化とマイクロ超音波センサの構造作製"第17回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム講演概要集. 1巻. 11-11 (2000)
青柳誠司(三好弘己): "多層成膜による高配向性PZT薄膜の厚膜化とマイクロ超音波センサの構造作製"第17回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム講演概要集. 1巻. 11-11 (2000)
复制标题
Seiji Aoyagi（Hiromi Miyoshi）：“通过多层沉积增厚高取向PZT薄膜和微超声波传感器结构的制造”第17届“传感器、微机械和应用系统”研讨会讲座摘要第1. 11 -11卷（2000年）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
