Quantitative thickness measurement of polarity-inverted piezoelectric thin-film layer by scanning nonlinear dielectric microscopy
Quantitative thickness measurement of polarity-inverted piezoelectric thin-film layer by scanning nonlinear dielectric microscopy
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扫描非线性介电显微镜定量测量极性反转压电薄膜层的厚度
DOI：
10.7567/jjap.56.10pf18
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发表时间：
2017
影响因子：
1.5
通讯作者：
Takahiko Yanagitani and Yasuo Cho
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiroyuki Odagawa;Koshiro Terada;Yohei Tanaka;Hiroaki Nishikawa;Takahiko Yanagitani and Yasuo Cho
