Oxygen plasma induced decomposition of BTMSM and HMDSO molecules-猫眼课题宝

氧等离子体诱导 BTMSM 和 HMDSO 分子分解

DOI：

发表时间：

2005

期刊：

Proceedings of International conference on Advanced Materials and Devices

影响因子：

通讯作者：

中科院分区：

文献类型：

作者：

Masanori Shinohara;Masanori Shinohara;M.Shinohara;篠原正典;柴田泰充;林純一;M.Shinohara;H.Shibata;H.Shibata;J.Hayashi;J.Hayashi