アルゴンプラズマエッチングによるPSナノ粒子アレイの三次元微細加工
アルゴンプラズマエッチングによるPSナノ粒子アレイの三次元微細加工
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氩等离子体刻蚀法三维微加工PS纳米颗粒阵列
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
吉嶺浩司，手嶋勝弥，是津信行
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吉嶺浩司，手嶋勝弥，是津信行;吉嶺浩司，手嶋勝弥，是津信行
