Hydrogen Effects on the Properties of Silicon/Nitrogen-Coincorporated

Hydrogen Effects on the Properties of Silicon/Nitrogen-Coincorporated
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氢对硅/氮共混物性能的影响

DOI：
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发表时间：
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期刊：
Diamond-Like Carbon Films Prepared by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
影响因子：
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通讯作者：
R. Kamata
R. Kamata
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
H. Nakazawa;S. Okuno;S. Miura;R. Kamata

文献摘要

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