水素ラジカルによる遷移金属の選択加熱現象を利用した多結晶 Si形成技術とデバイスへの応用
水素ラジカルによる遷移金属の選択加熱現象を利用した多結晶 Si形成技術とデバイスへの応用
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氢自由基选择性加热过渡金属多晶硅形成技术及其在器件中的应用
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
白木靖寛
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中家大希; 荒井哲司; 大平隆裕; 有元圭介;山中淳二;佐藤哲也;中川清和;高松利行;澤野憲太郎;白木靖寛
