パルスレーザーメルティング法によって深い準位をとる不純物を過飽和ドープしたシリコンの赤外光吸収

パルスレーザーメルティング法によって深い準位をとる不純物を過飽和ドープしたシリコンの赤外光吸収
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脉冲激光熔化法深层掺杂过饱和杂质硅的红外光吸收

DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
電気学会研究会資料光・量子デバイス研究会
影响因子:
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通讯作者:
杉村陽
杉村陽
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
梅津郁朗;香淳;川邊大介;松田祐樹;中川将;杉村陽

文献摘要

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