低圧Ar/O_2プラズマによる二酸化チタンの球形微粒子の生成および膜質制御
低圧Ar/O_2プラズマによる二酸化チタンの球形微粒子の生成および膜質制御
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低压Ar/O_2等离子体生成球形二氧化钛颗粒及薄膜质量控制
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山崎陽介,飯塚哲
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Janvier;Y. Kishimoto and J.Q. Li;安井真也・高橋正樹・島田純,味喜大介・石原和弘;Y.Yamaguchi;K. Ono;山崎陽介,飯塚哲
