後酸化スパッタ法によるTiO_2光触媒薄膜の高速低温成膜技術開発

後酸化スパッタ法によるTiO_2光触媒薄膜の高速低温成膜技術開発
复制标题

后氧化溅射法高速低温沉积TiO_2光催化薄膜技术开发

DOI:
--
复制
发表时间:
2007
期刊:
真空ジャーナル No.115
影响因子:
--
通讯作者:
鬼束さおり
鬼束さおり
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
野口大輔;肥後友紀子;奥津加奈;鬼束さおり

文献摘要

相似文献