Frequency-agile terahertz-wave sources and applications to sensitive diagnosis of semiconductor wafers
Frequency-agile terahertz-wave sources and applications to sensitive diagnosis of semiconductor wafers
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频率捷变太赫兹波源及其在半导体晶圆灵敏诊断中的应用
DOI：
10.1117/12.899625
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
H. Minamide and H. Ito
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Minamide and H. Ito
