K.Ueda,: "Defect observation in silicon surface layers by surface wave resonanec in RHEED." Material Sci.Forum.117/118. 273-278 (1993)
K.Ueda,: "Defect observation in silicon surface layers by surface wave resonanec in RHEED." Material Sci.Forum.117/118. 273-278 (1993)
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K.Ueda，：“通过 RHEED 中的表面波谐振观察硅表面层的缺陷。”
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