Takahiro Namazu, Shozo Inoue, Daisuke Ano, Keiji Koterazawa: "Direct measurement technique of strain in XRD tensile test for evaluating Poisson's ratio of micron-thick TiN films"Proceedings of The Seventeenth IEEE International Conference on Microelectrom
Takahiro Namazu, Shozo Inoue, Daisuke Ano, Keiji Koterazawa: "Direct measurement technique of strain in XRD tensile test for evaluating Poisson's ratio of micron-thick TiN films"Proceedings of The Seventeenth IEEE International Conference on Microelectrom
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Takahiro Namazu、Shozo Inoue、Daisuke Ano、Keiji Koterazawa：“用于评估微米厚 TiN 薄膜泊松比的 XRD 拉伸试验中应变的直接测量技术”第十七届 IEEE 国际微电子会议论文集
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