M. Goto: "Low Temperature Formation of a-Si : H Film by Inductively Coupled Silane Plasmas" 13th Symposium on Plasma Processing. 13. 113-116 (1996)
M. Goto: "Low Temperature Formation of a-Si : H Film by Inductively Coupled Silane Plasmas" 13th Symposium on Plasma Processing. 13. 113-116 (1996)
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M. Goto：“通过感应耦合硅烷等离子体低温形成 a-Si：H 薄膜”第 13 届等离子体处理研讨会。
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