低屈折率材料充填溝構造を用いた高分解能アレイ導波路目折格子の作製
低屈折率材料充填溝構造を用いた高分解能アレイ導波路目折格子の作製
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低折射率材料填充沟槽结构高分辨率阵列波导光栅的制作
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
津田
中科院分区：
文献类型：
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作者：
伊藤;津田
