COおよびH2添加CF4プラズマにおけるHfO2のエッチング特性
COおよびH2添加CF4プラズマにおけるHfO2のエッチング特性
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HfO2 在添加 CO 和 H2 的 CF4 等离子体中的蚀刻特性
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高橋和生
中科院分区：
文献类型：
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作者：
美山遼;高橋和生
