陰極温度制御による真空アーク蒸着アモルファスカーボン膜のドロップレット低減
陰極温度制御による真空アーク蒸着アモルファスカーボン膜のドロップレット低減
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通过控制阴极温度减少真空电弧沉积非晶碳薄膜的熔滴
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
平田 敦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
堀越 睦美;平田 敦
