Development of driving structure with dual-axis micro-mechanical probe for friction force microscope
Development of driving structure with dual-axis micro-mechanical probe for friction force microscope
复制标题
摩擦力显微镜双轴微机械探针驱动结构的研制
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Itoh
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Amakawa;K.Fukuzawa;M.Shikida;H.Tsuji;H.Zhang;S.Itoh
