J.Matsui et al: "Electron transport to a substrate in an rf capacitively coupled plasma by the Boltzmann equation"Bulletin of the American Phys. Soc. 42・8. 1745 (1997)
J.Matsui et al: "Electron transport to a substrate in an rf capacitively coupled plasma by the Boltzmann equation"Bulletin of the American Phys. Soc. 42・8. 1745 (1997)
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J.Matsui 等人：“通过玻尔兹曼方程将电子传输到射频电容耦合等离子体”美国物理学会公报 1745 (1997)。
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