SiN foundry platform for high performance visible light integrated photonics
SiN foundry platform for high performance visible light integrated photonics
复制标题
用于高性能可见光集成光子学的 SiN 代工平台
DOI：
10.1364/ome.479871
复制
发表时间：
2023
影响因子：
2.8
通讯作者：
Smith J
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Smith J
