異なる結晶方位におけるCu/SiN界面の分離に要するエネルギーの力学的評価
異なる結晶方位におけるCu/SiN界面の分離に要するエネルギーの力学的評価
复制标题
机械评估以不同晶体取向分离 Cu/SiN 界面所需的能量
DOI：
--
复制
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
野久尾毅
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
陳傳トウ;宍戸信之;小岩康三;神谷庄司;大宮正毅;佐藤尚;西田政弘;鈴木貴志;中村友二;鈴木俊明;野久尾毅
