ULSI用拡散バリア層としての無電解NiBめっき膜の薄膜化
ULSI用拡散バリア層としての無電解NiBめっき膜の薄膜化
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ULSI扩散阻挡层化学镀NiB薄膜的减薄
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
荒巻仁志;増田豊土;吉野正洋;笹野順司;逢坂哲彌;他
