INFLUENCE OF SUBSTRATE-TEMPERATURE AND FILM THICKNESS ON THE STRUCTURE OF REACTIVELY EVAPORATED IN2O3 FILMS
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DOI：
10.1016/0040-6090(87)90134-9
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发表时间：
1987-08-17
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
TAKADA, T
中科院分区：
文献类型：
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作者：
MURANAKA, S;BANDO, Y;TAKADA, T
