R. R. A. Syms and D. F. Moore: "Focused ion beam tuning of in-plane vibrating micromechanical resonators"Electronics Letters. 35. 1277-1278 (1999)
R. R. A. Syms and D. F. Moore: "Focused ion beam tuning of in-plane vibrating micromechanical resonators"Electronics Letters. 35. 1277-1278 (1999)
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R. R. A. Syms 和 D. F. Moore：“面内振动微机械谐振器的聚焦离子束调谐”电子快报。
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