ALDによる高規則性ポーラスアルミナへのTiO2成膜

ALDによる高規則性ポーラスアルミナへのTiO2成膜
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ALD 在高度有序多孔氧化铝上形成 TiO2 薄膜

DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
伊藤榛華,柳下 崇
伊藤榛華,柳下 崇
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
劉 恢弘;宮垣 徹也;釜井 正善;藤井 英俊;伊藤榛華,柳下 崇

文献摘要

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