10 Micrometer-Scale SPM Local Oxidation Lithography
10 Micrometer-Scale SPM Local Oxidation Lithography
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10 微米级 SPM 局部氧化光刻
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
J.Shirakashi.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.Toyofuku;S.Nishimura;K.Miyashita;J.Shirakashi.
