横田正憲: "微小なセンサとアクチュエータを集積した流体制御システム"日本機械学会2000年度年次大会講演論文集. Vol.I. 725-726 (2000)

横田正憲: "微小なセンサとアクチュエータを集積した流体制御システム"日本機械学会2000年度年次大会講演論文集. Vol.I. 725-726 (2000)
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Masanori Yokota:“集成微小传感器和执行器的流体控制系统”日本机械工程师学会 2000 年年会论文集,第 725-726 卷(2000 年)。

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