J.Q.Zhang, Y.Setsuhara, S.Miyake and B.Kyoh: "Formation of Carbon Film by Helicon Wave Plasma Enhanced DC Sputtering" Jpn.J.Appl.Phys.36・11. 6894-6899 (1997)
J.Q.Zhang, Y.Setsuhara, S.Miyake and B.Kyoh: "Formation of Carbon Film by Helicon Wave Plasma Enhanced DC Sputtering" Jpn.J.Appl.Phys.36・11. 6894-6899 (1997)
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J.Q.Zhang、Y.Setsuhara、S.Miyake 和 B.Kyoh：“利用螺旋波等离子体增强直流溅射形成碳膜”Jpn.J.Appl.Phys.36・11 (1997)。
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