Effects on the deposition and mechanical properties of diamond-like carbon film using different inert gases in methane plasma
Effects on the deposition and mechanical properties of diamond-like carbon film using different inert gases in methane plasma
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甲烷等离子体中不同惰性气体对类金刚石碳膜沉积及力学性能的影响
DOI：
10.1016/s0040-6090(00)01427-9
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发表时间：
2000
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
Xuetao Shi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Zhili Sun;C. H. Lin;Y. Lee;J. R. Shi;B. Tay;Xuetao Shi
