イオンマイグレーションを活用した金属微細材料からなる薄膜の低抵抗化に関する研究
イオンマイグレーションを活用した金属微細材料からなる薄膜の低抵抗化に関する研究
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利用离子迁移降低精细金属材料薄膜电阻的研究
DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
李 渊
中科院分区:
文献类型:
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作者:
菅原 隆寿;李 渊