有关MEMS 结构运动过程中产生和辐射电磁波的研究
有关MEMS 结构运动过程中产生和辐射电磁波的研究
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DOI：
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发表时间：
2012
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通讯作者：
韩磊
中科院分区：
文献类型：
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作者：
韩磊
