室温原子層堆積法を用いた酸化鉄薄膜の試作と評価
室温原子層堆積法を用いた酸化鉄薄膜の試作と評価
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室温原子层沉积法氧化铁薄膜的原型制作和评估
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
廣瀬 文彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
永田 一成;吉田 一樹;齋藤 健太郎;三浦 正範;鹿又 健作;廣瀬 文彦
