Novel thermomechanical terahertz detection by using fundamental and coupled modes in doubly clamped MEMS beam resonators
Novel thermomechanical terahertz detection by using fundamental and coupled modes in doubly clamped MEMS beam resonators
复制标题
在双钳位 MEMS 光束谐振器中使用基模和耦合模式进行新型热机械太赫兹检测
DOI：
--
复制
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
K. Hirakawa
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Y. Zhang;K. Hirakawa
