ハイドロゲルを用いた電気化学リソグラフィーデバイスの開発
ハイドロゲルを用いた電気化学リソグラフィーデバイスの開発
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使用水凝胶的电化学光刻装置的开发
DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
中西慎也
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Y. Nagai;Y. Kato;N. Hayashi;K. Yamauchi;H. Harima;関根宗一郎;関根宗一郎;梶弘和;関根宗一郎;関根宗一郎;中西慎也